Perspectives
Microscopie électronique à balayage - Images, applications et développements

Si pendant une trentaine d’années, la microscopie électronique à balayage a peu évolué, elle connaît depuis les années 1990 des évolutions considérables, en particulier avec les microscopes à haute résolution et à pression variable.

Une évolution très récente est appelée certainement à un grand développement, le microscope à double colonne où, à la colonne classique électronique, on associe une seconde colonne ionique, source d’un faisceau d’ions focalisé (FIB : Focused Ion Beam).

Les avantages que l’on peut obtenir à partir d’un bombardement ionique de l’échantillon sont multiples :

• abrasion locale permettant d’observer la structure interne de l’échantillon (imagerie 3D) ;

• observation du contraste cristallin par émission électronique induite par les ions ;

• préparation in situ de la surface en vue...