9. Glossaire – Définitions
Clusters
Ions formés d'amas polyatomiques.
Dalton
Unité de masse atomique.
Détection parallèle
Détection simultanée de plusieurs ions secondaires.
Détection séquentielle
Détection des ions secondaires masse par masse successivement.
Nano-SIMS
SIMS à haute résolution spatiale (appellation commerciale).
Profilage analytique
Mesure de la composition en fonction de la profondeur depuis la surface.
SIMS dynamique
Analyse SIMS sous un courant primaire élevé et tel que la détection et l'érosion sont simultanées.
SIMS statique
Analyse SIMS sous très faible courant primaire (voir définition et discussions dans le texte).
ToF-SIMS
SIMS avec détection par spectrométrie en temps de vol.
Triple focalisation
...
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Glossaire – Définitions
Sources bibliographiques
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