3. Conception et fabrication des puces microfluidiques pour la cristallisation
3.1 Matériaux et techniques de fabrication
Initialement, les premières structures microfluidiques ont été conçues et fabriquées en silicium et en verre, en tirant parti de protocoles lithographiques bien maîtrisés et standardisés issus de l’industrie de la microélectronique. Cependant, ces structures coûteuses et de fabrication fastidieuse, nécessitent un équipement très spécialisé, qui n’est souvent disponible que dans les environnements de salle blanche. Rapidement, d’autres matériaux et techniques microélectroniques ont été adaptés pour la fabrication de systèmes microfluidiques, et le terme « lithographie douce » a été créé pour nommer une famille de techniques utilisées pour concevoir des structures microfluidiques par moulage par...
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Conception et fabrication des puces microfluidiques pour la cristallisation
Couplage microfluidique/techniques d’analyse in situ
Sources bibliographiques
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