Miroslav KARLIK

La microscopie électronique en transmission est basée sur l'interaction des électrons avec la matière qui entraîne une distribution non uniforme de l'intensité du faisceau sur la face de sortie de la lame mince. Cependant, cette non-uniformité ne permet pas, en général, d'obtenir une image avec un contraste suffisant. Pour avoir des images exploitables, il faut seulement sélectionner une partie du faisceau d'électrons à l'aide d'un diaphragme. Le contraste est donc créé par les manipulations de l'opérateur et dépend du processus opératoire.

Pour la compréhension des propriétés des matériaux, l'analyse chimique locale en microscopie électronique est de plus en plus utilisée. Dans ce dossier, sont décrites, de manière pratique, les deux techniques qui équipent les microscopes actuels, l'analyse des rayons X caractéristiques et la spectrométrie des pertes d'énergie. Dans la partie pertes d'énergie, les transitions de faible énergie, telles qu’excitations de plasmons, transitions interbandes ou effet Cerenkov ne sont pas traitées. Seule l'utilisation des seuils d'ionisation caractéristiques des atomes est abordée.

La microscopie électronique à transmission (MET), en donnant de l’objet mince une image globale avec une résolution meilleure qu’un dixième de nanomètre, est une des techniques qui permettent l’étude des matériaux à l’échelle nanométrique. Elle est basée sur le fait que les électrons sont des particules chargées dont les trajectoires sont modifiables par l’action de champs magnétiques et électrostatiques. Après un descriptif de l’appareil, cet article expose les différentes méthodes de préparation des échantillons. Sont ensuite exposées les paramètres et les choix techniques existants lors de l’utilisation d’un MET, ainsi que les problèmes fréquemment rencontrés. Pour terminer, est introduite la méthode de diffraction en faisceau convergent.