| Réf : IN83 v1

La sonde atomique tridimensionnelle laser

Auteur(s) : Bernard DECONIHOUT,, François VURPILLOT,, Alain MENAND, Didier BLAVETTE

Date de publication : 10 juin 2008

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Avec l’émergence de la sonde laser, il est désormais possible d’analyser en 3D les matériaux mauvais conducteurs, en particulier les semi-conducteurs et oxydes, importants en micro-électronique.

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De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-in83


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