| Réf : RE33 v1

(Nano)structuration douce de surfaces

Auteur(s) : Philippe LECLERE,, Pascal VIVILLE, Roberto LAZZARONI

Date de publication : 10 juil. 2005

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INTRODUCTION

La course à la miniaturisation des dispositifs électroniques est lancée depuis quelques temps. Dans un avenir proche, les limites des technologies actuellement employées pour la fabrication de circuits intégrés par lithographie conventionnelle seront atteintes. Cet article présente quelques pistes intéressantes pour dépasser ces limites.

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De la conception au prototypage, jusqu'à l'industrialisation, la référence pour sécuriser le développement de vos projets industriels.

DOI (Digital Object Identifier)

https://doi.org/10.51257/a-v1-re33


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