Glossaire

Photolithographie : définition

Technique optique qui permet de transférer une image (généralement présente sur un masque) sur un substrat. On utilise en général une couche intermédiaire photosensible (résine ou PMMA, polyméthacrylate de méthyle). C'est une des méthodes principales de fabrication de masse des circuits de la microélectronique.

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