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Ald dans les livres blancs


Ald dans les ressources documentaires

  • Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
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  • 10 nov. 2016
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  • Réf : RE254

Réacteurs ALD

réacteurs ALD... procédé ALD... Les réacteurs de dépôt de couche minces par ALD (Atomic Layer Deposition) pour une variété d... de croissance ALD sont passées en revue. Ensuite, les différentes approches qui ont été développées pour obtenir...

Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.

  • Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
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  • 10 nov. 2016
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  • Réf : RE255

ALD en microélectronique

ou sans assistance plasma) sont décrits. L’ALD est arrivée assez tardivement en microélectronique... . Le principal atout de l’ALD est sa capacité à fabriquer des films très minces avec un excellent contrôle... ou sur des topographies complexes. De plus, de par son principe de saturation de surface, l’ALD n’est pas sensible... . Dans cet article sont présentées les différentes applications de l’ALD dans le milieu de la microélectronique...

Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.

  • Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
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  • 10 oct. 2016
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  • Réf : RE260

ALD assistée par plasma (PEALD)

ALD... Cet article a pour but de montrer l’intérêt d’une assistance plasma dans un procédé ALD... ainsi que les réacteurs associés. La seconde section porte sur les avantages d’une assistance plasma dans un procédé ALD... ainsi dans un procédé de dépôt chimique d’abaisser la température du procédé. Avec l’avènement du procédé ALD ( Atomic...

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