Glossaire

# Lithographie optique : définition

Procédé de photolithographie commençant par l'application d'une photorésine ensuite exposée à une radiation lumineuse. Lors de cette étape, l'utilisation d'un masque, formé de zones opaques et transparentes, permet de définir le motif que l'on souhaite reproduire sur la plaquette.

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