Glossaire

# Procédé ALD

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Articles de références et fiches pratiques à propos de : Procédé ALD

Chimie des précurseurs pour le procédé ALD
Réf : RE251

Le procédé d’ALD (Atomic Layer Deposition) nécessite des précurseurs qui présentent une volatilité... de sélectionner la famille de précurseurs appropriée à un procédé. L’ALD (Atomic Layer [...]

10 nov. 2016

Réacteurs ALD
Réf : RE254

procédé ALD... pour la réalisation d’un procédé d’ALD. Nous allons ensuite formuler des critères de performance qui permettent d...  : Overview and general trends . . Le procédé [...]

10 nov. 2016

ALD en microélectronique
Réf : RE255

le procédé adapté à la production. La technique ALD a été introduite en microélectronique dès le début... procédé PEALD... ou sans assistance plasma) sont décrits. L’ALD est arrivée assez [...]

10 nov. 2016

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