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# Source plasma

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Articles de références et fiches pratiques à propos de : Source plasma

Pulvérisation magnétron à impulsions bipolaires de [...]
Réf : IN251

La technologie HiPIMS bipolaire (bipolar High-Power Impulse Magnetron Sputtering) a récemment suscité un grand intérêt car elle permet de contrôler l’énergie des ions intervenant dans la formation de films minces fonctionnels. Cet article propose, premièrement, d’aborder [...]

10 sept. 2023

Dépôts sous vide par procédés plasma
Réf : M1663

de procédés plasma (source, transport, méthodes de dépôt), des différentes techniques de mise en vapeur... des réactions à la surface. Dans la plupart des applications, les plasmas s’étendent de la source [...]

10 juin 2014

ALD assistée par plasma (PEALD)
Réf : RE260

utilisés pour l’ALD est faible et dépend de la source plasma ; typiquement il est de quelques pourcents... de réacteurs plasma pour assister l’ALD. Deux utilisent une source inductive tandis que le [...]

10 oct. 2016

Dans l'actualité

Actualité à propos de : Source plasma

Article d'actualité La fusion nucléaire franchit un cap avec l'inauguration du tokamak japonais JT-60SA
20 Février 2024
La fusion nucléaire franchit un cap avec ...

Le plus grand réacteur expérimental à fusion nucléaire du monde a été inauguré le 1er décembre 2023 au Japon. Si elle tient ses promesses, cette source d'énergie,...

Article d'actualité Du graphène comme s'il en neigeait
6 Novembre 2018
Du graphène comme s'il en neigeait

Des chercheurs chinois des universités Péking et Tsinghua de Pékin ont réussi à synthétiser des flocons de graphène dans un simple four à micro-ondes, via un...

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