1. Matériaux de la microélectronique
L’intérêt de la microélectronique pour la technologie des capteurs se situe surtout dans l’exploitation des procédés et des équipements associés. Évidemment, l’utilisation de ces techniques passe par une compatibilité aussi bien au niveau des formes des pièces à traiter (substrat plan d’épaisseur calibrée en forme de disque...) qu’au niveau des matériaux. Chaque fois que cela est possible, on utilise des matériaux déjà connus et maîtrisés dans l’industrie du semi-conducteur. Il faut signaler, en ce qui concerne les films minces, que les propriétés mécaniques et électriques dépendent souvent beaucoup des procédés de dépôt et des traitements thermiques postérieurs.
1.1 Silicium
Le silicium est le matériau de base de l’industrie microélectronique. Si ses propriétés...
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Matériaux de la microélectronique
Technologie du micro-usinage collectif
Bibliographie
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