Effets de la miniaturisation des capteurs
Capteurs microélectroniques

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Effets de la miniaturisation des capteurs
Capteurs microélectroniques

Auteur(s) : Alfred PERMUY, Éric DONZIER, Fadhel REZGUI

Relu et validé le 29 novembre 2019 | Read in english

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6. Effets de la miniaturisation des capteurs

Si la miniaturisation suscite beaucoup d’engouement et d’intérêt, elle peut s’accompagner de réelles difficultés technologiques et de limitations physiques fondamentales liées aux lois d’échelles.

Pour mieux les appréhender, analysons comment les différentes forces physiques qui peuvent intervenir dans le fonctionnement de microcapteurs évoluent avec la miniaturisation.

  • Force élastique

    Elle intervient très souvent dans la conception d’un capteur puisqu’elle définit le niveau de contrainte et les allongements associés.

    Dans le cas simple d’une poutre, la raideur k s’écrit : kEe3b/

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