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Circuits en couches minces - MCM et techniques connexes

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E3366 V1 Article de référence

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Circuits en couches minces - MCM et techniques connexes

Auteur(s) : Michel MASSÉNAT

Relu et validé le 12 mars 2020 | Read in english

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2. Technologies

2.1 Techniques de réalisation et physique des couches minces

Le lecteur est invité à consulter également l’article pour tout ce qui concerne les techniques de réalisation et la physique des couches minces :

  • méthodes de dépôt ;

  • croissance et nucléation ;

  • adhérence et contraintes ;

  • méthodes de conception et de réalisation des motifs ;

  • stabilité des couches minces.

Il y trouvera également un paragraphe dédié à la réalisation des couches minces monocouches, celles que nous appelons « traditionnelles ». En particulier, y sont décrites les principales méthodes...

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