5. Application
Nous nous intéresserons ici dans un premier temps aux microsystèmes radio-fréquence, puis aux microsystèmes optiques. Nous évoquerons ensuite les capteurs et autres applications des microsystèmes.
5.1 Microsystèmes radio-fréquence
Les premiers microsystèmes disponibles sur le marché ont été les capteurs. Puis, au vu des propriétés électriques et mécaniques offertes par les technologies microsystèmes, de nouveaux domaines d’applications ont été explorés.
Ainsi, une multitude de composants fonctionnant aux fréquences RF et millimétriques est apparue. Ces composants, souvent regroupés sous le terme commun microsystèmes RF ou RF-MEMS en anglais, peuvent être répartis en plusieurs groupes :
les composants basés sur le micro-usinage de...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Application
Perspectives à moyen terme
- (1) - - http://www.memsnet.org/links/software.html
- (2) - MADOU (M.) - Fundamentals of Microfabrication. - 752 p. 2002 CRC Press.
- (3) - RAI-CHOUDURY (P.) - Handbook of Microlithography,...
Cet article est réservé aux abonnés. Il vous reste 92 % à découvrir.
Déjà abonné ? Se connecter
Article inclus dans l'offre
"Électronique"
(
496 articles
)
Actualisée et enrichie d’articles validés par nos comités scientifiques.
Quiz, médias, tableaux, formules, vidéos, etc.
Opérationnels et didactiques, pour garantir l'acquisition des compétences transverses.
Un ensemble de services exclusifs en complément des ressources.
