1. Définition
Les microsystèmes , au sens de la définition européenne du terme, sont des dispositifs multifonctionnels miniaturisés intelligents. Ils associent des éléments mécaniques, optiques, électromagnétiques, thermiques et fluidiques à de l’électronique. Ils assurent des fonctions de capteurs pouvant identifier des paramètres physiques de leur environnement (pression, accélération, …) et/ou d’actionneurs pouvant agir sur cet environnement.
On divise habituellement les microsystèmes en deux catégories :
ceux qui détectent l’information, appelés capteurs . Ils récoltent une information locale telle que thermique, biologique, chimique et optique. Bien que l’on associe souvent le terme microsystème à « système...
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Définition
De la conception à la fabrication
- (1) - - http://www.memsnet.org/links/software.html
- (2) - MADOU (M.) - Fundamentals of Microfabrication. - 752 p. 2002 CRC Press.
- (3) - RAI-CHOUDURY...
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