2. De la conception à la fabrication
Il n’existe pas encore de bibliothèque de designs standards à assembler pour répondre aux différentes fonctions qui rentrent dans la construction d’un microsystème, contrairement à la microélectronique. Pourtant, ces objets sont souvent complexes puisqu’ils réunissent suivant l’application des compétences pluridisciplinaires.
Nous verrons quelles sont les grandes étapes de conception d’un microsystème puis nous détaillerons une méthodologie de modélisation et de simulations. Auparavant, nous dirons quelques mots sur ce qui différencie la conception d’un microsystème de celle d’un système conventionnel.
2.1 Macro versus microsystèmes
La conception d’un microsystème part souvent de l’idée de miniaturiser un système...
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De la conception à la fabrication
Technologies de fabrication
- (1) - - http://www.memsnet.org/links/software.html
- (2) - MADOU (M.) - Fundamentals of Microfabrication. - 752 p. 2002 CRC Press.
- (3) - RAI-CHOUDURY...
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