3. Réalisation technologique
Un circuit intégré est un assemblage de techniques élémentaires destiné à accomplir une fonction déterminée à partir de composants dont la nature et la localisation sont définis à l’aide d’un jeu de masques.
3.1 Modules technologiques élémentaires
Le lecteur se reportera à l’article [E 2 410].
La fabrication d’un circuit intégré fait appel à une grande variété de métiers : métallurgie des semi-conducteurs, mise sous forme de plaquettes de très grande pureté et perfection cristalline, dopage par diffusion et implantation ionique, recuits, épitaxie, dépôts d’isolants, semi-conducteurs et métaux, lithographie optique, électronique ou aux rayons X, gravure, nettoyages, métrologie et analyses en cours de fabrication, tri avant montage, montage...
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Réalisation technologique
Performances
Données économiques
La complexité croissante des technologies les plus avancées en CMOS d’une part et en bipolaire d’autre part rend leur intégration simultanée dans un BiCMOS plus ardue et plus coûteuse. Ce qui laisse penser que les générations BiCMOS industrielles seront de plus en plus en retrait par rapport au MOS et bipolaire de pointe. Ceci explique les prévisions décroissantes pour ces technologies en l’an 2000 (cf. tableau...
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