Applications des films MLD, ALD/MLD : principaux domaines d’application
Atomic/Molecular Layer Deposition (ALD/MLD) : matériaux organiques et hybrides inorganiques-organiques – Principes généraux et applications

Les matériaux organiques et hybrides déposés par MLD et par ALD/MLD présentent un potentiel applicatif très vaste, en raison de la possibilité de moduler finement leur composition, leur structure et leurs propriétés par le choix des précurseurs et l’architecture des dépôts. Les films organiques déposés par MLD et par oMLD sont déjà étudiés dans des domaines variés, notamment la filtration membranaire, la microélectronique, le stockage d’énergie et l’absorption électromagnétique. La stabilité des films hybrides peut toutefois s’avérer limitante pour leurs applications, cet aspect n’étant pas encore assez documenté. Les applications des systèmes hybrides purs restant pour l’instant rarement rapportées, la plupart des applications concernent ainsi les systèmes multicouches inorganiques/organiques et inorganiques/hybrides (figure