1. Dépôt en couches moléculaires (MLD) : principes généraux, matériaux et applications
1.1 Introduction au MLD
1.1.1 Définition et différences avec l’ALD
Le procédé MLD est une technique de croissance de couches minces en phase vapeur, autolimitante, analogue au procédé ALD. Il repose sur des réactions de surface séquentielles et autolimitées, mais au lieu de former des réseaux atomiques inorganiques, la chimie de surface conduit à la formation de chaînes polymériques ou de structures organiques réticulées à la surface du substrat.
De manière similaire à l’ALD, le procédé MLD s’effectue...
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Dépôt en couches moléculaires (MLD) : principes généraux, matériaux et applications
Dépôt hybride en couches atomiques/moléculaires (procédé hybride ALD/MLD)
Sources bibliographiques
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