5. Glossaire
Alucone ; alucone
Film hybride inorganique-organique à base d’aluminium, obtenu par ALD/MLD à partir de triméthylaluminium et d’un précurseur organique diol. Représentant le plus étudié de la famille des métalcones.
Dépôt par couches atomiques ; Atomic Layer Deposition ( ALD )
Technique de dépôt en phase vapeur reposant sur des réactions de surface séquentielles et auto-limitées, permettant la croissance contrôlée de films inorganiques à l’échelle atomique.
Dépôt par couches moléculaires ; Molecular Layer Deposition ( MLD )...
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