2. Dépôt hybride en couches atomiques/moléculaires (procédé hybride ALD/MLD)
2.1 Matériaux hybrides et principe ALD/MLD
Dans les domaines de la chimie et des sciences des matériaux, une distinction disciplinaire est traditionnellement faite entre les approches organiques et inorganiques. Pourtant, la nature nous prouve que le lien entre le minéral et l’organique est essentiel à la vie, comme par exemple les matériaux qui forment la carapace des mollusques, les os ou les coquilles d’œuf. Ces systèmes sont constitués de matériaux hybrides, associant intimement composants minéraux et molécules/polymères organiques.
Les matériaux inorganiques sont le plus souvent caractérisés par une densité élevée, une grande stabilité thermique, une rigidité mécanique importante et une fragilité aux chocs mécaniques. Ils peuvent aussi présenter des propriétés...
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Dépôt hybride en couches atomiques/moléculaires (procédé hybride ALD/MLD)
Applications des films MLD, ALD/MLD : principaux domaines d’application
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