Modélisation à l’échelle du réacteur ALD
Comprendre l’ALD par la modélisation

Nous avons parcouru un nombre de phénomènes typiques de l’ALD qui peuvent être décrits à l’échelle atomique. Il n’en demeure pas moins que des aspects tout aussi importants se situent à d’autres échelles et appellent à d’autres bases théoriques. Notamment, le transport de la phase gazeuse de l’entrée du réacteur (réservoirs de précurseurs et vannes ALD) aux surfaces à revêtir peut se dérouler sur des dimensions proches du décimètre ou du mètre. L’homogénéité, l’épaisseur et la composition des films doivent être contrôlées sur des dimensions elles-mêmes centimétriques. De plus, le dépôt peut avoir lieu à l’intérieur de tranchées ou de pores micrométriques, nécessitant un contrôle à l’échelle mésoscopique, ce qui implique une connaissance des écoulements dans des géométries à la fois complexes et multi-dimensionnelles.

Les processus de transport de fluides sont opérés...