4. Modélisation par dynamique moléculaire via des potentiels réactifs
Dans le cadre de l’ALD, la dynamique moléculaire (DM) occupe une position intermédiaire entre les approches purement quantiques et les modèles cinétiques de plus grande échelle. Alors que ces derniers relèvent d’une description continue de l’espace, la dynamique moléculaire demeure atomistique, puisqu’elle repose sur l’intégration des équations du mouvement de Newton pour un ensemble d’atomes, à l’aide de champs de force décrivant leurs interactions. Dans la littérature ALD, les approches de DM réactive s’appuient aujourd’hui surtout sur des potentiels de type ReaxFF, qui restent de loin les plus utilisés pour décrire explicitement la rupture et la formation de liaisons dans des systèmes de taille supérieure à ceux accessibles par la DFT
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Modélisation par dynamique moléculaire via des potentiels réactifs
Modélisation à l’échelle du réacteur ALD
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