Modélisation multi-échelle
Comprendre l’ALD par la modélisation

Les technologies d’élaboration des matériaux, telle l’ALD, sont particulièrement complexes dès lors que l’on s’intéresse aux différents mécanismes impliqués dans la formation des micro et des nanomatériaux ainsi que de leurs interfaces : chimie de surface, phénomènes physiques d’adsorption et de désorption, écoulements des gaz réactifs, transferts thermiques, voire contraintes mécaniques. Comme ces mécanismes ne s’expriment ni aux mêmes échelles de temps ni aux mêmes échelles d’espace, le recours à plusieurs outils de modélisation spécialisés est nécessaire si l’on vise, à terme, la construction d’outils prédictifs pour l’ingénieur de conception. La modélisation multi-échelle consiste précisément à relier ces différents niveaux de description, de l’échelle atomique à celle du réacteur de dépôt. La figure