Contexte
Faisceaux d'ions - Applications

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M4396 V1 Archive

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Faisceaux d'ions - Applications

Auteur(s) : Franck FORTUNA, Erwan OLIVIERO, Marie-Odile RUAULT

Date de publication : 10 septembre 2010

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1. Contexte

L'implantation ionique est le processus physique à travers lequel on introduit une concentration prédéterminée d'atomes dans des matériaux solides (métalliques, semi-conducteurs, isolants) changeant ainsi les propriétés physiques de ce solide.

L'implantation ionique est un procédé d'ingénierie des matériaux. Les ions implantés permettent de changer les propriétés chimiques de la cible, ainsi que les propriétés structurelles. En effet, la structure cristalline de la cible peut être partiellement désordonnée, voire même détruite, lors du processus.

Théoriquement, il est possible d'introduire tout élément dans tout matériau, même non compatible chimiquement, et les solubilités limites, déterminées dans les conditions habituelles de l'équilibre thermodynamique, peuvent être dépassées. Il s'agit donc,...

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