Outil de contrôle de l'ordre local
Faisceaux d'ions - Applications

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M4396 V1 Archive

Outil de contrôle de l'ordre local
Faisceaux d'ions - Applications

Auteur(s) : Franck FORTUNA, Erwan OLIVIERO, Marie-Odile RUAULT

Date de publication : 10 septembre 2010

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4. Outil de contrôle de l'ordre local

Les exemples d’application décrits dans ce paragraphe illustrent un aspect méconnu des possibilités de l’irradiation ionique, qui concerne la mise en ordre structurale de systèmes partiellement désordonnés.

Pour des conditions adaptées de densité d’énergie déposée (nature des ions, flux, énergie), le faisceau d’ions permet d’apporter l’énergie au système pour activer sa transformation.

4.1 Cristallisation par IBIEC (Ion Beam Induced Epitaxial Crystallization)

Ce mode de croissance consiste à irradier une interface amorphe/cristal avec un faisceau d'ions pour activer l'épitaxie en phase solide. Lors de cette irradiation, on choisit l’énergie des ions de telle sorte que leur parcours soit bien supérieur à l'épaisseur de la couche amorphe...

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