3. Caractéristiques des dépôts obtenus
3.1 Nature
Elle dépend du mode d’élaboration et des réactions chimiques qui interviennent selon que le dépôt se forme :
directement à partir de la phase gazeuse (réactions homogènes), sans réaction du dépôt avec le substrat ni diffusion à l’état solide, il se compose d’une couche, suivant le cas, de métaux, nitrures, siliciures, borures, carbures, oxydes, etc. (figure 5 )
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Caractéristiques des dépôts obtenus
CVD face aux autres procédés de dépôt
Sources bibliographiques
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