2. Techniques de formation des CVD
2.1 Procédés dits « statiques »
Dans ce type de procédé, la pièce à recouvrir est mise dans une enceinte close, en contact avec un cément généralement constitué par un mélange de l’élément donneur et d’un agent chimique convenablement choisi, d’où la dénomination pour ce procédé de cémentation en caisse ou pack cementation .
Le cément contient aussi une poudre inerte, ou diluant, permettant d’éviter le frittage qui peut s’opérer à haute température.
L’agent chimique, à la température de traitement, réagit avec l’élément donneur pour former in situ le composé gazeux du (ou des) corps à déposer (figure...
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Techniques de formation des CVD
Caractéristiques des dépôts obtenus
Sources bibliographiques
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