3. Caractéristiques des dépôts obtenus
3.1 Nature des dépôts
Elle dépend du mode d’élaboration et des réactions chimiques qui interviennent :
si le dépôt est formé directement à partir de la phase gazeuse (réactions homogènes), sans réaction du dépôt avec le substrat ni diffusion à l’état solide, il se compose d’une couche, suivant le cas, de métaux, nitrures, siliciures, borures, carbures, oxydes, etc. (figure 5 ) ;
si le dépôt est formé par réactions hétérogènes et (ou) s’il y a diffusion à l’état solide, il peut être la juxtaposition de plusieurs couches de compositions différentes : solutions solides, composés métalliques,...
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Caractéristiques des dépôts obtenus
Avantages et inconvénients du CVD. Comparaison avec d’autres procédés de dépôt
Bibliographie
Références
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