1. Réactions chimiques
Lors d’un dépôt à partir d’une phase gazeuse, les réactions chimiques susceptibles de se produire sont de trois types. Elles sont indiquées dans le tableau 1 , ainsi que les caractéristiques principales qui s’y rattachent.
La plupart des réactions sont endothermiques, aussi est-il nécessaire de fournir de l’énergie au substrat. Le choix de la méthode d’apport d’énergie dépend essentiellement du type de réaction, de la forme, des dimensions et de la composition des pièces, etc. Les méthodes les plus employées sont :
chauffage direct du substrat par passage d’un courant électrique dans ce substrat : ce procédé est très souhaitable, par exemple pour les revêtements de fils ;
chauffage par induction : ce procédé, comme le précédent,...
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Réactions chimiques
Techniques de formation des dépôts chimiques en phase gazeuse
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