4. Synthèse des performances et limites en sonde fixe
La spectroscopie Auger permet l’identification de tous les éléments sauf H et He. Le glissement chimique peut atteindre des valeurs significatives, ∼15 eV, mais il est plus difficile à interpréter qu’en XPS, aussi les informations qu’il est susceptible de donner sont-elles moins systématiquement recherchées ? En revanche, en complément de l’identification, des éléments des informations chimiques supplémentaires peuvent être déduites de l’analyse fine de la forme des raies CVV.
On aura noté que la longueur d’atténuation des électrons Auger λ est comprise entre 0,5 et 5 nm, que la profondeur d’analyse est égale à 3λ alors que la sensibilité de surface est bien inférieure et peut être égale à une fraction de monocouche atomique....
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Synthèse des performances et limites en sonde fixe