Synthèse des performances et limites en sonde fixe
Spectroscopie Auger - Principes et performances en sonde fixe

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Synthèse des performances et limites en sonde fixe
Spectroscopie Auger - Principes et performances en sonde fixe

Auteur(s) : Jacques CAZAUX

Date de publication : 10 juin 2007 | Read in english

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4. Synthèse des performances et limites en sonde fixe

4.1 Performances

La spectroscopie Auger permet l’ identification de tous les éléments sauf H et He. Le glissement chimique peut atteindre des valeurs significatives, ∼15 eV, mais il est plus difficile à interpréter qu’en XPS, aussi les informations qu’il est susceptible de donner sont-elles moins systématiquement recherchées ? En revanche, en complément de l’identification, des éléments des informations chimiques supplémentaires peuvent être déduites de l’analyse fine de la forme des raies CVV.

On aura noté que la longueur d’atténuation des électrons Auger λ est comprise entre 0,5 et 5 nm, que la profondeur d’analyse...

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