5. Conclusion
Basée sur le mécanisme de l’effet Auger, la spectroscopie Auger induite par les électrons peut être mise en œuvre dans un équipement spécifique ayant une structure analogue à celle d’un microscope électronique à balayage qui serait doté de l’ultravide et équipé d’un analyseur d’électrons. En microanalyse locale, la sonde électronique incidente est focalisée sur le détail à analyser, ce qui permet d’identifier les éléments (sauf H et He) constituant les toutes premières couches atomiques (quelques nanomètres) de la surface des solides, avec une résolution latérale qui peut atteindre quelques nanomètres, une concentration minimale détectable de l’ordre de 1 ‰ et une limite de détection de quelques dizaines ou moins d’atomes identiques, alors que la précision sur les concentrations peut atteindre 5 % at/at, notamment quand les protocoles suggérés par des normes ISO (qui résultent d’une coopération...
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