Conclusion
Microscopie électronique à balayage - Principe et équipement

Durant de nombreuses années, la microscopie électronique à balayage a connu peu de bouleversements importants, le développement des canons à émission de champ (principalement par émission Schottky) a modifié considérablement la technique. Le développement de nouveaux concepts de colonnes électroniques, et de nouveaux détecteurs, a permis d’étendre les possibilités de ces microscopes, en particulier au niveau de la résolution en imagerie mais aussi dans les capacités d’observation à basse et très basse tension, ou en utilisant des détecteurs situés dans la colonne des MEB. En contrepartie, l’interprétation des contrastes est devenue souvent plus complexe, les émissions électroniques secondaires et rétrodiffusées ne suivant plus, par exemple, à basse tension, les mêmes règles qu’aux tensions plus élevées