4. Conclusion
Durant de nombreuses années, la microscopie électronique à balayage a connu peu de bouleversements importants, le développement des canons à émission de champ (principalement par émission Schottky) a modifié considérablement la technique. Le développement de nouveaux concepts de colonnes électroniques , et de nouveaux détecteurs , a permis d’étendre les possibilités de ces microscopes, en particulier au niveau de la résolution en imagerie mais aussi dans les capacités d’observation à basse et très basse tension, ou en utilisant des détecteurs situés dans la colonne des MEB. En contrepartie, l’interprétation des contrastes est devenue souvent...
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