2. Principes des microsystèmes utilisés en métrologie électrique
2.1 Composants microsystèmes
2.1.1 Technologies de fabrication
La micromécanique sur silicium est traditionnellement divisée en deux catégories : le micro-usinage de surface ( surface micromachining ) et le micro-usinage de volume ( bulk micromachining )
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Principes des microsystèmes utilisés en métrologie électrique
Applications au courant continu et aux basses fréquences
Références bibliographiques
Ouvrages et revues
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