Microsystèmes oscillateurs de référence
Applications des MEMS à la métrologie électrique

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R1002 V1 Article de référence

Microsystèmes oscillateurs de référence
Applications des MEMS à la métrologie électrique

Auteur(s) : Antti MANNINEN, Anna-Maija KÄRKKÄINEN, Nadine PESONEN, Aarne OJA, Heikki SEPPÄ

Date de publication : 10 juin 2007 | Read in english

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5. Microsystèmes oscillateurs de référence

Plusieurs technologies de microsytèmes peuvent être utilisées pour réaliser des résonateurs dans le domaine de fréquences allant de quelques kilohertz jusqu’à plusieurs gigahertz. Les technologies pertinentes sont les ondes acoustiques de surface (SAW surface acoustic waves ) et les ondes acoustiques de volume (BAW bulk acoustic waves ), ainsi que le micro-usinage de résonateurs en silicium. Toutes ces technologies peuvent être utilisées pour réaliser des oscillateurs de référence miniaturisés. C’est l’industrie des télécommunications qui est motrice dans ce domaine. La technologie BAW est déjà industrialisée pour la fabrication des filtres radiofréquence de téléphones mobiles. D’après les études de marché et les prospectives, le composant microsystème venant en second sur le marché des radiofréquences...

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