5. Microsystèmes oscillateurs de référence
Plusieurs technologies de microsytèmes peuvent être utilisées pour réaliser des résonateurs dans le domaine de fréquences allant de quelques kilohertz jusqu’à plusieurs gigahertz. Les technologies pertinentes sont les ondes acoustiques de surface (SAW
surface acoustic waves
) et les ondes acoustiques de volume (BAW
bulk acoustic waves
), ainsi que le micro-usinage de résonateurs en silicium. Toutes ces technologies peuvent être utilisées pour réaliser des oscillateurs de référence miniaturisés. C’est l’industrie des télécommunications qui est motrice dans ce domaine. La technologie BAW est déjà industrialisée pour la fabrication des filtres radiofréquence de téléphones mobiles. D’après les études de marché et les prospectives, le composant microsystème venant en second sur le marché des radiofréquences...
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Microsystèmes oscillateurs de référence