1. Contexte
L’importance des microsystèmes, ou MEMS, n’est plus à démontrer.
une voiture moderne contient de 20 à 40 accéléromètres et autres capteurs à base de MEMS.
En dehors de l’industrie automobile et des transports, les applications principales des microsystèmes se trouvent dans les télécommunications, le secteur médical et les biotechnologies, l’environnement, etc. Les têtes de lecture-écriture des disques durs, les têtes d’imprimantes à jet d’encre, les accéléromètres et les capteurs de pression sont des applications grand public bien connues.
Dans ce dossier, nous étudions les applications des composants microsystèmes micro-usinés pour des mesures électriques de précision, ou, plus spécifiquement, pour la ...
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Principes des microsystèmes utilisés en métrologie électrique
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Ouvrages et revues
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