6. Conclusion
Les dispositifs à base de microsystèmes représentent un grand potentiel pour la métrologie et l’instrumentation électrique. La comparaison avec les dispositifs existants est en leur faveur, tant du point de vue de la taille, du prix et de la consommation d’énergie. Le principe d’équilibre entre les forces électriques et mécaniques dans les composants microsystèmes capacitifs à plaque mobile peut s’appliquer, par exemple, à des références de tension continues et alternatives, à des convertisseurs valeur efficace-continu (RMS-DC) et à des wattmètres hautes fréquences. On s’attend à ce que la stabilité ultime des composants fabriqués à partir d’un monocristal de silicium soit très bonne, grâce aux excellentes propriétés mécaniques du monocristal de silicium. On s’attend aussi à ce que le bruit en 1/ f soit faible. En pratique, cependant, la stabilité...
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