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Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

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Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

Auteur(s) : Alexandra DELVALLÉE, Sébastien DUCOURTIEUX

Date de publication : 10 décembre 2022 | Read in english

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5. Discussions

5.1 Discussions des pratiques constatées

Dans l’ensemble, les résultats de cette comparaison de mesure des propriétés caractéristiques de réseaux étalons avant/après étalonnage s’approchent des résultats attendus : une progression sur l’exactitude de mesure est observée. En effet, les écarts constatés entre les valeurs mesurées par les participants et les valeurs références sont largement réduits après étalonnage, autant pour le pas de réseau par MEB ou AFM que pour la hauteur de marche par AFM. Cette comparaison a montré que la plupart des équipements des participants n’étaient pas étalonnés et/ou que leurs utilisateurs n’étaient pas familiers avec les procédures d’étalonnage. Il est également à noter que 20 % des mesures ont été fournies bien qu’elles ne respectaient pas le...

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