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Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

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Comparaison de mesures des dimensions caractéristiques de réseaux pour l’étalonnage des AFM et MEB

Auteur(s) : Alexandra DELVALLÉE, Sébastien DUCOURTIEUX

Date de publication : 10 décembre 2022 | Read in english

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7. Glossaire

Échelle nanométrique ; Nanoscale

Échelle s’étendant conventionnellement de 1 nm à 100 nm.

Microscope électronique à balayage (MEB) ; Scanning electron microscopy (SEM)

Technique de microscopie électronique permettant d’obtenir des images en haute résolution de la surface de l’échantillon par l’utilisation de l’interaction électron/matière.

Microscope à force atomique (AFM) ; Atomic force microscopy (AFM)

Technique de microscopie permettant d’obtenir des images de la topographie d’un échantillon par le balayage d’une pointe effilée sur sa surface.

Métrologie ; Metrology

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