7. Glossaire
Échelle nanométrique ; Nanoscale
Échelle s’étendant conventionnellement de 1 nm à 100 nm.
Microscope électronique à balayage (MEB) ;Scanning electron microscopy (SEM)
Technique de microscopie électronique permettant d’obtenir des images en haute résolution de la surface de l’échantillon par l’utilisation de l’interaction électron/matière.
Microscope à force atomique (AFM) ;Atomic force microscopy (AFM)
Technique de microscopie permettant d’obtenir des images de la topographie d’un échantillon par le balayage d’une pointe effilée sur sa surface.
Métrologie ;Metrology
Science de la mesure définissant les méthodes permettant de garantir la confiance dans les processus de mesurage.
Incertitude de mesure ; Measurement uncertainty
Dispersion des valeurs attribuées à un mesurande...
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Glossaire
Sigles, notations et symboles
Sources bibliographiques
- (1) - SEPPÄ (J.), KORPELAINEN (V.), BERGSTRAND (S.), KARLSSON (H.), LILLEPEA (L.), LASSILA (A.) - Intercomparison of lateral scales of scanning electron microscopes and atomic force microscopes in research institutes in Northern Europe. - Meas. Sci. Technol., vol. 25, n° 4, DOI: 10.1088/0957-0233/25/4/044013...
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