Conclusion
Métrologie hybride AFM/SEM pour mesurer la dimension de nanoparticules

L’approche par métrologie hybride permet une caractérisation tridimensionnelle de populations de nanoparticules avec des incertitudes maîtrisées. Afin de montrer la faisabilité de la démarche, plusieurs populations de nanoparticules de silice de diamètre allant de 15 nm à 100 nm, théoriquement sphériques, ont été analysées. Cependant, cette méthode, simple à mettre en œuvre grâce à l’utilisation d’un substrat de repositionnement, a mis en évidence une différence de forme pour les particules de silice en fonction de leur taille. Cette différence s’exprime par la présence d’un écart systématique entre les mesures AFM et MEB pour les plus petites particules et met en évidence la complémentarité entre ces deux techniques pour une caractérisation quantitative tridimensionnelle des nanoparticules.

Toutefois, les techniques AFM et MEB donnent deux mesures indépendantes :...