6. Métrologie hybride combinant des mesures AFM et MEB
6.1 Intérêt de cette nouvelle approche
Cette nouvelle approche, dite de « métrologie hybride », permet d’effectuer une mesure des propriétés dimensionnelles d’une population de nanoparticules dans les trois dimensions de l’espace en associant deux techniques jugées complémentaires : la microscopie électronique à balayage (MEB) et la microscopie à force atomique (AFM).
6.2 Comparaison des résultats de mesures AFM et MEB sur une population de nanosilice
Une suspension de silice ERM®-FD304...
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Métrologie hybride combinant des mesures AFM et MEB
Conclusion
Sources bibliographiques
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