Techniques pour mesurer la taille d’un nano-objet
Métrologie hybride AFM/SEM pour mesurer la dimension de nanoparticules

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Techniques pour mesurer la taille d’un nano-objet
Métrologie hybride AFM/SEM pour mesurer la dimension de nanoparticules

Auteur(s) : Loïc CROUZIER, Nicolas FELTIN, Alexandra DELVALLÉE

Date de publication : 10 décembre 2020 | Read in english

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2. Techniques pour mesurer la taille d’un nano-objet

2.1 Méthodes directes

Les techniques de microscopie telles que la microscopie à force atomique (MFA, plus usuellement désigné par AFM pour Atomic Force Microscopy en anglais), microscopie électronique à balayage (MEB) ou microscopie électronique à transmission (MET) sont les seules techniques dites « directes », car le principe de mesure est fondé sur une observation directe de la nanoparticule et la mesure produite est une taille « géométrique » directement traçable à l’unité de longueur, le mètre. La notion de traçabilité sera définie dans la section

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