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Mesures physiques / Référence TI672

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Capteurs de gaz à semi-conducteurs

Référence R2385 | Date de publication : 10 sept. 2006 | Marc DEBLIQUY

2. Détection des gaz par des oxydes semi-conducteurs

2.1 Principe

Le principe de fonctionnement des capteurs chimiques à base d’oxydes semi-conducteurs se base sur les variations de la conductivité due au dopage par l’adsorption de différents gaz présents dans l’atmosphère avoisinante [15] [16].

Si on part de l’exemple de SnO2, semi-conducteur de type n largement utilisé pour la détection de gaz, la détection dans l’air repose sur les variations de concentration d’oxygène adsorbé en surface. En effet, celui-ci capte des électrons du solide pour s’y lier. Les ions oxygène formés (O2, O ou O2 –) peuvent être de natures différentes selon la température. Il est admis [17] que, dans le domaine de température où les capteurs sont utilisés (> 250 ˚C), l’espèce est principalement formée.

Le plus souvent, les films de semi-conducteurs utilisés en détection...

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