Un nouveau réacteur de dépôt électrolytique pour les microsystèmes

INTRODUCTION

1 - PROBLÉMATIQUE

2 - DÉMARCHE

3 - PRÉREQUIS

• 3.1 - Rappels d’électrochimie
• 3.2 - Paramètres initiaux pour la simulation
• 3.3 - État de l’art

4 - CONCEPTION ET RÉALISATION DU NOUVEAU RÉACTEUR

• 4.1 - Simulations
  
• 4.2 - Construction du réacteur à cône régulier

5 - EXPÉRIMENTATIONS

• 5.1 - Méthodes de caractérisation. Définition des réponses
• 5.2 - Résultats pour l’alliage Co90Fe10
• 5.3 - Comparaison des simulations aux mesures expérimentales
  
• 5.4 - Résultats pour le cuivre

6 - CONCLUSIONS

• 6.1 - Conclusion sur le dépôt de Co90Fe10
  
• 6.2 - Conclusions sur le réacteur
• 6.3 - Valorisation des résultats et perspectives