Expérimentations
Un nouveau réacteur de dépôt électrolytique pour les microsystèmes

1 - Problématique

2 - Démarche

3 - Prérequis

• 3.1 - Rappels d’électrochimie
  Figure 2 - Schéma de principe d’une cellule électrochimique Figure 3 - Réacteur standard à palettes : schémas
• 3.2 - Paramètres initiaux pour la simulation
  Figure 4 - Réacteur standard à palettes : photographie
• 3.3 - État de l’art
  Figure 5 - Dépôt sur plaque Figure 6 - Schéma de principe du réacteur à cône Figure 7 - Répartition des vecteurs de densité de courant

4 - Conception et réalisation du nouveau réacteur

• 4.1 - Simulations
  Figure 9 - Schéma du porte-substrat standard Figure 10 - Représentation de la vitesse axiale le long de la cathode Figure 11 - Simulations MIOTRAS de la vitesse axiale le long de la cathode avec porte-substrat standard Figure 12 - Simulations MIOTRAS de la vitesse axiale le long de la cathode avec porte-substrat plan Figure 13 - Réacteur à cône régulier Figure 14 - Réacteur à cône régulier installé en salle blanche Tableau 1
• 4.2 - Construction du réacteur à cône régulier

5 - Expérimentations

• 5.1 - Méthodes de caractérisation. Définition des réponses
• 5.2 - Résultats pour l’alliage Co90Fe10
  Figure 15 - Co90Fe10 déposé avec une vitesse d’injection supérieure à 0,5 m/s Figure 16 - Évolution de l’uniformité en fonction de différents paramètres Figure 17 - Dépôt sur plaque pour le point de fonctionnement optimal
• 5.3 - Comparaison des simulations aux mesures expérimentales
  Figure 18 - Comparaison des simulations aux valeurs expérimentales de l’épaisseur déposée au point optimal Tableau 2 Tableau 3
• 5.4 - Résultats pour le cuivre
  Figure 19 - Dépôt du cuivre sur plaque dans le réacteur standard

6 - Conclusions

• 6.1 - Conclusion sur le dépôt de Co90Fe10
  Figure 20 - Dépôt de cuivre au point de fonctionnement optimal dans le RCR Tableau 4 Tableau 5
• 6.2 - Conclusions sur le réacteur
• 6.3 - Valorisation des résultats et perspectives