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# Couche d'ozone

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Articles de références et fiches pratiques à propos de : Couche d'ozone

Circuits en couches minces
Réf : E3365

, à savoir la notion de couche mince comparée à celle de couche épaisse. La notion d’épaisseur est-elle... un certain intérêt aux couches minces, qui retrouvent dans ces applications l’opportunité [...]

10 févr. 2003

Circuits en couches minces
Réf : E3366

Les couches minces sont un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, habituellement obtenu... ce que l’on entend par couche mince, à savoir un dépôt généralement inférieur à 5 µm d’épaisseur, [...]

10 mai 2003

Dépôt par couche atomique spatiale (SALD)
Réf : RE262

avec le cylindre extérieur. Avec ce réacteur, des couches d’Al 2 O 3 peuvent être déposées à un taux de 2 Å... en dessous d’un module d’injection et un réflectomètre est placé en série pour mesurer [...]

10 nov. 2016

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