Glossaire

# Gravure plasma

Dans les ressources documentaires

Articles de références et fiches pratiques à propos de : Gravure plasma

Gaz ionisés et plasmas
Réf : AF3560

Les plasmas sont le quatrième état de la matière et représentent près de 99 % de l’Univers.... de plasmas qui dépendent de la densité des électrons et de la température (ou énergie) de ces derniers... et des ions) ; les collisions [...]

10 juil. 2000

Plasmas froids de décharge
Réf : D2835

. En gravure plasma (PE) ou en dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à plus haute pression (10 à 100 Pa... , avec des effets similaires sur le confinement du plasma. Une structure originale proposée pour la [...]

10 nov. 1997

ALD assistée par plasma (PEALD)
Réf : RE260

(dépôt ou gravure), d’où leur appellation de « plasmas froids ». Le plasma est aussi appelé 4 e  état... conjointement des ions et des neutres (cas de la gravure plasma en [...]

10 oct. 2016

Dans l'actualité

Actualité à propos de : Gravure plasma

Article d'actualité Photovoltaïque : l’hétérojonction dans les starting-blocks industriels
29 Mai 2019
Photovoltaïque : l’hétérojonction dans les ...

Avec l’annonce en début d’année d’un nouveau record de rendement de cellules photovoltaïques basées sur la technologie d’hétérojonction au silicium et les premiers...

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