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Gravure plasma

Gravure plasma dans l'actualité

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Gravure plasma dans les ressources documentaires

  • Article de bases documentaires
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  • 10 juil. 2000
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  • Réf : AF3560

Gaz ionisés et plasmas

Les plasmas sont le quatrième état de la matière et représentent près de 99 % de l’Univers.... de plasmas qui dépendent de la densité des électrons et de la température (ou énergie) de ces derniers... et des ions) ; les collisions entre les particules les composant, avec des plasmas relevant de la cinétique... classique et de l’équation de Boltzmann. Là encore, on peut les séparer, d’une part, en plasmas thermiques...

Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.

  • Article de bases documentaires
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  • 10 nov. 1997
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  • Réf : D2835

Plasmas froids de décharge

. En gravure plasma (PE) ou en dépôt chimique en phase vapeur (PECVD) à plus haute pression (10 à 100 Pa... , avec des effets similaires sur le confinement du plasma. Une structure originale proposée pour la gravure ionique... Les plasmas ont représenté de prime abord une toute petite branche de la physique... », ou « stellarator », de la génération de puissance par la magnétohydrodynamique, ou de la compréhension des plasmas...

Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.

  • Article de bases documentaires : RECHERCHE ET INNOVATION
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  • 10 oct. 2016
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  • Réf : RE260

ALD assistée par plasma (PEALD)

(dépôt ou gravure), d’où leur appellation de « plasmas froids ». Le plasma est aussi appelé 4 e  état... conjointement des ions et des neutres (cas de la gravure plasma en microélectronique), etc. Exemple... . Le système est finalement assez semblable aux systèmes utilisés dans des procédés de gravure plasma de type... ) identifier les produits de « gravure » et ainsi comprendre l’interaction plasma/surface ou encore optimiser...

Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.


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