de l'influence du paramètre β , les microcapteurs pH-ChemFET ( pH-sensitive chemical field effect transistor... 'encapsulation et de conditionnement en phase liquide (de l'échelle du substrat à celle du microcapteur), par l'utilisation d... pour le développement de microcapteurs EnFET principalement pour des analyses médicales * * * COMBES (D... le bon fonctionnement du microcapteur EnFET. Enfin, étant donné que les réactions acido-basiques en phase...
Les articles Recherche et Innovation présentent des technologies en cours de développement, émergentes, qui n'ont pas encore atteint leur pleine maturité pour un développement industriel mais sont prometteuses.
entre ces deux électrodes. Cette cavité doit être scellée sous vide car la dilatation thermique du gaz à l’intérieur... inductively coupled plasma reactor for mems. . Dans cette dynamique, le développement des microcapteurs... . Dans cette optique, le point fort des microcapteurs de pression en silicium reste leur mode de fabrication. En effet... dans le domaine des microcapteurs en général visent à une intégration plus poussée de fonctions plus complexes...
Les articles de référence permettent d'initier une étude bibliographique, rafraîchir ses connaissances fondamentales, se documenter en début de projet ou valider ses intuitions en cours d'étude.
Les microcapteurs de gaz ont un très gros intérêt industriel de par leur faible encombrement, leur faible consommation, leur faible coût, ce qui permet de les déployer en réseau distribué. Les capteurs de gaz à oxydes métalliques semiconducteurs, bien qu’ayant des performances limitées par rapport à des analyseurs, font partie des capteurs les plus commercialisés avec les capteurs électrochimique...
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