circuits hautes fréquences... Les conducteurs en hautes fréquences ont comme caractéristique essentielle de suivre de près... des techniques quasi-optiques. L'utilisation des conducteurs en [...]
10 août 2013
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10 août 2013
soumis à une polarisation continue superposée à une oscillation haute fréquence, généralement 13,56 MHz... , CHF 3 , CCl 4 …), la pression dans l’enceinte et la puissance haute fréquence déterminent le [...]
10 mai 2004
de la microélectronique, en termes d’élaboration de couches minces et de réalisation de composants. Les applications... ou sans assistance plasma) sont décrits. L’ALD est arrivée assez tardivement en microélectronique... . Dans cet [...]
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